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技術(shù)文章

實(shí)驗(yàn)用磁控濺射MSP-MINI的特點(diǎn)

實(shí)驗(yàn)用磁控濺射MSP-MINI的特點(diǎn)

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本設(shè)備是一種帶磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。當(dāng)用光學(xué)顯微鏡(Ag 靶)觀察透明材料的表面或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶)在少量樣品上涂導(dǎo)電膜時(shí)使用。

一鍵自動(dòng)鍍膜。沒有麻煩的操作。高性價(jià)比機(jī)器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(biāo)(φ30mm)。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。Au 靶作為標(biāo)準(zhǔn)包含在內(nèi)。展示其在桌面 SEM 預(yù)處理方面的能力。
可選的目標(biāo)Ag膜具有優(yōu)異的光澤度,便于透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察。

●用一個(gè)按鈕自動(dòng)涂層。沒有任何繁瑣的操作。

●去除所有贅肉的高性價(jià)比機(jī)。我是MSP-1S的弟弟。

●小型目標(biāo)(φ30mm)。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本。

●標(biāo)準(zhǔn)附帶Au靶。在桌上SEM的預(yù)處理中發(fā)揮實(shí)力。

●可選靶Ag膜光澤優(yōu)良,透明材料表面的光學(xué)顯微鏡觀察使揣測變得容易。

產(chǎn)品特點(diǎn)

★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。

★為了將小面積的試樣涂布時(shí)的浪費(fèi)最小化,小面積靶(φ30mm)。

★樣品臺是直接放置滑動(dòng)玻璃的平面樣品臺。

★低電壓涂層,即使是敏感的樣品也幾乎沒有樣品損傷。

★用1個(gè)按鈕全自動(dòng)進(jìn)行排氣、涂層、泄漏。

★目標(biāo)金屬是金(Au)標(biāo)準(zhǔn)??蛇x的銀。

★排氣系統(tǒng)采用外置RP5升/min。

★使用輔助試料臺(可選),可提高涂布率,提高效率可以成膜。

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