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產品資料
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日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)

產品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
產品型號: GMi系列
產品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)
該產品是一種換能器型多離子量規(guī),可以將測針連接到不同的測量范圍。

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī) 的詳細介紹

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規(guī)

 

在將常規(guī)方法的多種原理組合到一個外殼中的復雜真空計中,“單個手寫筆需要*更換手寫筆”,“手寫筆很復雜且容易出現故障”和“手寫筆”我經常聽到客戶的反饋,例如“昂貴”。
這種方法可以進行寬帶測量,顯著降低運行成本,并支持低環(huán)境負荷。

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GMi系列的特點

  • 廣域測量可以測量
    從大氣壓到高真空區(qū)域(10 5至5 x 10 -8 Pa)(當同時使用GPM和GAM時)
  • 可以連接不同測量范圍的放大鏡
    通過采用多離子規(guī),可以根據應用選擇測針
  • 準確的大氣壓測量可以
    輕松,準確地確認大氣壓(使用GAM時)
  • 支持低環(huán)境負荷由于
    只能根據需要更換觸控筆,因此可以降低運行成本。

  • 配備可檢查異常情況的LED,以提高可見度

  • 易于更換可維護的手寫筆
  • 每種模式規(guī)格(組合模式)
    GMi + GPM(離子計+吡喃計)
    GMi + GPM + GAM(離子計+吡拉尼計+大氣壓傳感器)
  • 測量值輸出信號
    壓力為0至10V輸出(對數輸出)
  • 控制輸出信號可以進行
    3點設定值輸出(GMi-1)
  • 可以進行串行通訊規(guī)格
    RS232C / RS485通訊(GMi-2)
  • 符合標準
    CE標準對應

  • 用于各種制造設備(例如太陽能電池,FPD,半導體和電子零件)的高真空區(qū)域中的過程控制
  • 通過串聯(lián)型和單晶圓型等多個處理室,確認各種制造設備的高真空區(qū)域的極限壓力
  • 高真空/超高真空設備的壓力測量

規(guī)范

模型GMi-1GMi-2
規(guī)范標準規(guī)格串行通訊規(guī)格
自適應多離子量規(guī)傳感器M34(NW16),M35(NW25)
可連接的傳感器多離子壓力表傳感器:1
皮拉尼壓力表GPM:1(可選)
大氣壓傳感器GAM:1(可選)
采樣時間70毫秒4倍移動平均處理
測量值輸出輸出電壓DC 0至10 V,對數輸出0.75 V / 1位
壓力轉換公式V = 7.25 + 0.75×(Log P -2)P = 10 ^ {(V --7.25)/ 0.75 + 2} 
*用于設定點調整還用作(僅限GMi-1)的輸出電源
更新時間50毫秒
控制輸入??信號FIL ON / OFF,FIL 1/2,DEGAS ON / OFF以
集電極開路輸入,負邏輯運行

*根據模式的不同,FIL ON / OFF信號的用法也不同。

---
控制輸出信號傳感器錯誤,設定點1/2/3
發(fā)射有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值:24 VMAX,50 mAMAX,
飽和電壓1 V
---
串行通訊規(guī)格---RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯誤:電源,錯誤指示燈(閃爍狀態(tài)根據每種模式而變化)
FIL:發(fā)射有效的指示燈
SET1:設定點1 LED 
SET2:
設定點2 LED SET3:設定點3 LED
---
發(fā)射電流1 mA(1 x 10 -3 Pa或更?。?,10 µA
德加斯電子減震方法(電子轟擊)1 mA,330 V
傳感器耐壓2 x 10 5 Pa(壓力)*法蘭和夾具的承受壓力需要單獨考慮。
傳感器內部容積34厘米3(M34)
工作溫度極限10-50℃
工作濕度范圍15-80%(但是,不結露)
儲存溫度-20至65°C(不通電時不結露)
IP防護等級IP30
電源電壓DC 20-28 V(紋波,噪聲1%或更低)19 W或更低(電源打開時為156 W)
輸入/輸出連接器D-sub 15針(M2.6螺絲)
大眾控制器:約530 g,BA手寫筆(M34):63 g
外形尺寸W xD x H(mm)144 x 75 x 62以下(控制器部分)
符合標準CE認證
選項電源/錯誤:多離子計傳感器M34(NW16),M35(NW25)
材質:長絲1 lr / Y 2 O 3涂層,長絲2 W(鎢)
其他Pt C Mo,SUS,W
皮拉尼規(guī)SPU
皮拉尼儀表傳感器WP-16(NW16)
材質:細絲鉑,其他BS / Ni,電鍍,鎳,焊料
大氣壓傳感器GAM(NW16)材質:SUS316L
單元電纜GPM為0.5毫米
GAM為0.5毫米
顯示單位1 CH:ISG1型(使用DC 24 V電源)
4 CH:IM1R1型(使用DC 24 V電源)
            IM2R1型(使用AC 100 V電源)
顯示電纜GMi和顯示單元之間的電纜
2 m,5 m,10 m,15 m

每種模式規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇:多離子表單模,帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式GMi-1 / GMi-2
獨立模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM
組合模式
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM
組合模式
測量壓力范圍5×10 -8?1 ×10 15×10 -8?1 ×10 45×10 -8?1 ×10 5
測量精度5×10 -8至1×10 1 Pa±15%5×10 -8?1×10 3帕:±15%
1×10 3?3.0×10 3帕:±30%
3.0×10 3?1.0×10 4帕:沒有精度保證
5×10 -8?1×10 3帕:±15%
1×10 3?3.0×10 3帕:±30%
3.0×10 3 ?1.0×10 4帕:沒有精度保證
1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa:±3%FS 
(3 x 10 3 Pa,參考溫度25°C)
重復精度1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa:Pa±2%
接線圖(示例)GMi-1 / GMi-2 <單模式GMi-1 / GMi-2 + GPM組合模式GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM組合模式

外形尺寸

測針的尺寸圖

單位:mm 
*規(guī)格或建議零售價如有變更,恕不另行通知。

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