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產(chǎn)品資料
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日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
GPW系列的特點(diǎn)
廣域測量:可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進(jìn)行廣域測量。
省線:通過集成傳感器和控制器實(shí)現(xiàn)省線,節(jié)省空間和省電
可見度更高:配備可確認(rèn)異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié):一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點(diǎn)
可維護(hù)性:易于更換探頭
燈絲材料/鉑(Pt):燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號:壓力為0至10V對數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性:

日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列 的詳細(xì)介紹

日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

 

  • 用于各種制造設(shè)備(例如太陽能電池,F(xiàn)PD,半導(dǎo)體和電子零件)的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于各種工業(yè)設(shè)備(例如熔爐)的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行過程控制,例如在線型和單晶片型

規(guī)范

模型GPW-1GPW-2
可連接探針之一
自適應(yīng)探頭SWP-16(NW-16)
測量壓力范圍5.0×10 -2?1.0 ×10 5
測量精度*1×10 -1至1××10 4 Pa:±10%
5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa,1×10 4 Pa至1×10 5 Pa:±20%
重復(fù)性1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa:±2%
采樣時間50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出 輸出電壓DC 0?10 V
壓力指示(對數(shù)輸出)1.7 V至8.0 V,1 V /位
更新時間50毫秒
控制輸入??信號集電極開路輸入,負(fù)邏輯
ADJ調(diào)整(零點(diǎn)調(diào)整,大氣壓調(diào)整)
--
控制輸出信號集電極開路輸出
負(fù)邏輯[額定值:30 VMAX,50 mAMAX,70 mW]
錯誤信號
設(shè)定點(diǎn)1、2
--
監(jiān)控設(shè)定點(diǎn)設(shè)定點(diǎn)1,2:0至10 V日志輸出--
串行通訊規(guī)格--RS232C / RS485
LED顯示屏電源/錯誤:電源,錯誤指示燈
SET-1:設(shè)定點(diǎn)1 LED 
SET-2:設(shè)定點(diǎn)2 LED
--
燈絲材料
工作溫度極限10-40°攝氏度
工作濕度范圍15至80%(但無凝結(jié))
IP防護(hù)等級IP30(傳感器單元)
安裝姿勢沒有限制
電源電壓DC 18 V?30 V,2 W(開機(jī)時為4.8 W)
I / O連接器D-sub15針(M2.6螺釘)
大眾150克(含SWP-16)
外形尺寸(電源部分)W xD x H(毫米)70 x 46 x 28
符合標(biāo)準(zhǔn)CE認(rèn)證

*大氣壓調(diào)整和零點(diǎn)調(diào)整后的精度。

尺寸圖

尺寸圖

單位:毫米
*規(guī)格或建議零售價如有變更,恕不另行通知。

日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列

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