玻璃基板上金膜圖案化的加工實例分析

加工概述和特點

金膜厚度：100nm

加工區(qū)域：500μm ×500μm 間距：300μm

通過與外部AOM同步，脈沖ON/OFF以1μs的時間分辨率進行控制。

~內(nèi)置外部AOM同步系統(tǒng)，實現(xiàn)1MHz的逐拍控制~

思百吉建立了一個系統(tǒng)，可以通過同步振蕩器和外部AOM來控制脈沖ON/OFF，時間分辨率為1μs。 通過使用該系統(tǒng)在加工過程中更改和設計圖紙圖案，我們實現(xiàn)了加工時間的縮短。

在這一開發(fā)中，我們實現(xiàn)了定期打開和關閉激光脈沖發(fā)射的控制。 將來，我們希望繼續(xù)進行開發(fā)，以便能夠以更高的自由度控制激光脈沖發(fā)射，例如掃描儀操作和與外部驅(qū)動軸的同步。

帶或不帶加工驗證內(nèi)容的圖紙比較 _AOM