日本鏡面平板基材表面缺陷檢測(cè)技術(shù)介紹

日本鏡面平板基材表面缺陷檢測(cè)技術(shù)介紹

表面缺陷檢測(cè)設(shè)備（一般）

表面欠陥検査裝置（通常タイプ）

應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測(cè)鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動(dòng)判定影像處理軟體、自動(dòng)化搬運(yùn)裝置、影像儲(chǔ)存、影像列印等功能。

即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１
光學(xué)系統(tǒng)無(wú)須維護(hù)。
根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容，可修正檢測(cè)靈敏度。

詢問(wèn)此產(chǎn)品的型錄

檢測(cè)尺寸	從φ100mm至φ300mm
檢測(cè)內(nèi)容	平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測(cè)倍率	1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
檢測(cè)靈敏度	檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源	550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源）
鏡頭	高解析度CCD鏡頭
平臺(tái)	手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）