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技術(shù)文章

多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技術(shù)

多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析技術(shù)

F20可以在1秒左右輕松測(cè)量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點(diǎn)在線測(cè)量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此可以從PLC或上位機(jī)控制。


主要特點(diǎn)

  • 支持廣泛的薄膜厚度(1 nm 至 250 μm)

  • 支持寬波長(zhǎng)范圍(190nm 至 1700nm)

  • 強(qiáng)大的膜厚分析

  • 光學(xué)常數(shù)分析(折射率/消光系數(shù))

  • 緊湊型外殼

  • 支持在線測(cè)量

主要用途

平板單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR薄膜、
各種光學(xué)薄膜等
半導(dǎo)體抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等
光學(xué)鍍膜減反射膜、硬涂層等
薄膜太陽(yáng)能電池CdTe、CIGS、非晶硅等

砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等
醫(yī)療保健鈍化、藥物涂層等

測(cè)量示例

可以測(cè)量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。

 

多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

玻璃硬質(zhì)鍍膜膜厚分析



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