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技術(shù)文章

晶體中心壁厚非接觸式無損檢測技術(shù)

晶體中心壁厚非接觸式無損檢測技術(shù)

非接觸式鏡片中心厚度測量機“ CT-Gauge DX"。 

1)設(shè)備概要(測量壁厚的原因)
目前,圖像質(zhì)量正在從4K向8K轉(zhuǎn)變,光學(xué)系統(tǒng)的性能也越來越苛刻。在這樣的技術(shù)背景下,除了表面形狀和偏心精度之外,還規(guī)定了嚴(yán)格的中心厚度。

通常,當(dāng)透鏡壁厚偏離設(shè)計值時,球差會增大,尤其是在微透鏡中,壁厚誤差會導(dǎo)致球差擴大和焦點位置波動。然而,測量鏡片的中心厚度是一個相當(dāng)困難的測量目標(biāo),并且尚未建立測量方法。


原因是測量點只有一個,很難清楚地識別位置。
另外,我想避免接觸測量,如果可能的話,這可能會導(dǎo)致劃痕。尤其是半導(dǎo)體曝光機的大口徑鏡頭,
玻璃材質(zhì)是有原因的,但要求光學(xué)性能最高,
壁厚公差嚴(yán)格。

測量的另一個原因是為了
響應(yīng)在鏡片加工過程中(特別是在初始階段)測量壁厚的要求。如您所知,被稱為難玻璃
材料的軟玻璃材料,由于晶體取向的問題,具有被快速刮掉的特性。此外,材料成本
高,我們希望減少加工錯誤。此外
,使用其他公司的測量光通過樣品正面和背面的
反射光測量壁厚的設(shè)備無法進行此測量。


* 由于測量粗糙表面時物體之間的距離會有輕微誤差,
 建議使用四邊形位移計或在表面涂油。


為了解決這些問題,我們在7年前開發(fā)了非接觸式鏡片中心測厚機,
目前改進的CT-gauge具有以下性能。 

◆ 產(chǎn)品配置(以下為標(biāo)準(zhǔn)配置規(guī)格) 

1)高精度非接觸式位移計單元(2個) 
2)精密XY掃描平臺
3)位移計驅(qū)動機構(gòu)
4)位移計四軸調(diào)整單元(2套) )? FIX 載物臺規(guī)格)
5) 新開發(fā)的“內(nèi)置陶瓷校準(zhǔn)儀的單元(帶有獨立的傾斜調(diào)整機構(gòu))"
6) 通用樣品夾持機構(gòu)(最大 Φ10 至 100 
7) 專用控制箱
8) 分析筆記本電腦
9) 安裝了基于 3D 形貌和透鏡頂點分析算法的定制軟件
  Hybird Peak Analysis System ( HyPAS )
10) 專用接線電纜



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